臺式等離子清洗機PT3000高校實驗室等離子
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:等離子清洗機
- 產(chǎn)品名稱:臺式等離子清洗機PT3000高校實驗室等離子
- 產(chǎn)品編號:PT3000
- 產(chǎn)品商標:雷博
- 產(chǎn)品規(guī)格:臺
- 參考價格:面議
- 更新時間:2024/3/4 13:48:54
- 點擊次數(shù):1355次
等離子清洗機是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備,利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面,達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。具有設(shè)備小巧,真空腔容量大,適用于實驗室環(huán)境;清洗過程不會產(chǎn)生高溫,避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形;可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料,應(yīng)用廣泛。
特點:
腔體材質(zhì) 鋁合金
供電電源 AC220V、1000W
濺射電壓:MAX 2500V
濺射電流:MAX 30mA
靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm
電源功率 0-300W可調(diào)
射頻頻率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
氣體路數(shù) 2路
氣體流量 MFC氣體質(zhì)量流量計 500SCCM(可調(diào))
控制 觸屏
清洗時間 1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸:≤4寸
內(nèi)腔尺寸 Φ147mm*145mm(直徑*深)
外形尺寸 500mm*525mm*365mm(寬*深*高)
重量 ≈38KG
真空泵 愛特VRD-4